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- 2023-03-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构，包括盛有液态硅的石英坩埚，所述液态硅的液面上设有外导流筒，外导流筒为纵向布置的管状结构，其底部开口小于上部开口，所述外导流筒内置与其结构相同的内导流筒，外导流筒与内导流筒之间为高效保温毡，外导流筒的上边缘与内导流筒的上边缘之间填充有导流筒固毡环，所述内导流筒内安装有水冷屏。本实用新型可以有效地提高等径过程中单晶的生长速度，增加掺镓单晶的有效长度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213708547 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202020952838.1
(22)申请日 2020.05.29
(73)专利权人 包头美科硅能源有限公司
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