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- 2023-03-18 发布于四川
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本实用新型公开一种料盒安装机构和等离子清洗机，其中，该料盒安装机构包括料盒安装座、夹紧把驱动件和夹紧组件。所述夹紧组件安装于所述料盒安装座，并包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件和第二夹紧件，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件中至少一者可被所述夹紧驱动件驱动并向另一者滑动，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件用于共同夹紧待安装的料盒。本实用新型料盒安装机构可有效地解决现有的一些等离子清洗机无法灵活的安装不同宽度的料盒的技术问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213701067 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202022166141.4
(22)申请日 2020.09.27
(73)专利权人 深圳泰德半导体装备有限公司
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