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平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于四川
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平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置.pdf

    本实用新型公开了一种平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，包括上电极板、下电极板和送气机构，反应室由腔盖和腔体构成，上电极板安装在腔盖上，下电极板设于腔体的底板上，上电极板包括底盒和多个主管路，底盒的下端面为喷淋板，多个主管路呈矩阵式分布在底盒的上端面，送机机构包括多个送气组件，送气组件与主管路一一对应，送气组件包括送气支管以及设于送气支管上的流量计和控制阀，送气支管与对应的主管路连接。本实用新型将送气机构分成多组送气支路，通过流量计和控制阀调节局部区域的进气速率、气流大小，均衡上电

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213708477 U (45)授权公告日 2021.07.16 (21)申请号 202022066274.4 (22)申请日 2020.09.18 (73)专利权人 湖南红太阳光电科技有限公司

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