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一种用于晶圆切割的进料装置.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于四川
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一种用于晶圆切割的进料装置.pdf

    本实用新型属于晶圆切割进料技术领域，尤其一种用于晶圆切割的进料装置，包括进料板，所述进料板前侧面开设有横向滑槽，所述切割平台内部下表面中部固定连接有第二气体发生箱，所述第二气体发生箱上方固定连接有第一气体发生箱，所述出气管下端固定连接有第一气体发生箱上表面中部，所述第二气体发生箱左右两侧中部均固定连接有连接管，所述吸气管下端固定连接有连接管，所述滑块左侧面中部固定连接有气动伸缩杆的右端，所述气动伸缩杆左端套接滑动连接有气缸，该用于晶圆切割的进料装置具有晶圆落到切割平台上的过程中会缓慢下降，减小晶

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213704058 U (45)授权公告日 2021.07.16 (21)申请号 202022097017.7 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人 江苏众晶半导体有限公司

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