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- 2023-03-18 发布于四川
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本实用新型属于产品切割领域，具体涉及一种用于晶圆切割的辅助对准装置，包括支撑板，所述支撑板上表面前后两侧连接有横向挡板，所述支撑板上表面左右两侧连接有纵向挡板，所述支撑板上表面对应所述横向挡板两侧开设有滑槽；通过横向挡板、纵向挡板和转盘的设置，使测量尺可进行横向挡板和纵向挡板形成矩形框架对角线长度的测量，且工作人员可通过刻度线进行转动轴偏移角度的读取，使工作人员可得出待切割晶圆的中心位置数据，便于切割设备根据中心数据进行晶圆的切割，通过环形垫、透气孔和抽真空机的设置，使晶圆在抽真空机的作用下紧密
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213702233 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202022109374.0
(22)申请日 2020.09.23
(73)专利权人 江苏众晶半导体有限公司
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