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一种半导体晶体除杂装置.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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一种半导体晶体除杂装置.pdf

    本实用新型公开了一种半导体晶体除杂装置，包括除杂装置本体，所述除杂装置本体由从左右到依次活动安装的进风管、恒温除杂箱、保温箱、低温除杂箱、出风管组成；所述恒温除杂箱、所述低温除杂箱上均开设有门洞，所述门洞通过其上设有的固定机构活动安装有门板；所述恒温除杂箱的门板上固定连接有架体，所述架体从所述门洞穿进所述恒温除杂箱内，所述架体上设置有用于放置半导体晶体的托盘；所述保温箱内固定连接有多层保温板，每个所述保温板上均开设有透气孔；所述低温除杂箱的门板上固定连接有用于容纳多孔吸附材料的外框。本实用新型，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213691972 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202023263254.2 (22)申请日 2020.12.29 (73)专利权人 深圳天成先进材料科技有限公司

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