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一种用于半导体晶体除杂的装置.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于四川
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一种用于半导体晶体除杂的装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于半导体晶体除杂的装置，包括进气管，所述进气管上固定安装有圆形隔板，所述进气管的一端伸进半导体晶体固定槽内，所述半导体晶体固定槽开设在除杂箱内，所述半导体晶体固定槽上转动连接有顶盖，所述顶盖的一侧转动连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部转动连接在除杂箱上，所述顶盖上转动连接有蜗轮，所述蜗轮与蜗杆啮合，所述蜗杆的外壁与固定筒的内壁转动连接，所述固定筒固定连接在顶盖上，所述蜗杆穿过固定筒的一端与电机二的输出端固定安装。本实用新型，采用气体喷吹除杂，并且伴随晶体夹持后旋转，提高

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213691974 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202023316150.3 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人 深圳天成先进材料科技有限公司

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