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射频功率器件行业概况 射频功率器件行业概况 射频（RF）是RadioFrequency的缩写，表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围在300kHz-300GHz之间，射频功率器件即工作在该频率范围内的电子器件。目前成熟的硅基射频功率器件主要有射频LDMOS、射频VDMOS和高频三极管（双极型晶体管）三种。 由于工作频率高，射频功率器件的关键尺寸达到微米或亚微米，同时芯片设计必须解决射频功率性能设计、可靠性设计、宽带内匹配电路设计问题；工艺必须解决精细线条加工、大面积横向分布均匀的浅掺杂和一致性封装等关键技术，才能得到符合要求的产品。射频功率器件的技术发展方向主要是更大功率、更高效率、更高的频率