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MEMS麦克风和电子设备.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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MEMS麦克风和电子设备.pdf

    本实用新型公开一种MEMS麦克风和电子设备。其中，MEMS麦克风包括：基板，所述基板内形成有空腔；壳体，所述壳体与所述基板连接并围合形成收容腔，所述壳体开设有连通所述收容腔的进声孔；MEMS芯片，所述MEMS芯片设于所述基板，并位于所述收容腔内，所述MEMS芯片面向所述基板的一侧设有与所述空腔相连通的第一凹槽；以及DSP芯片，所述DSP芯片设于所述基板，并位于所述收容腔内。本实用新型技术方案可以提高MEMS麦克风的声学性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213694151 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202023085965.5 (22)申请日 2020.12.17 (73)专利权人 潍坊歌尔微电子有限公司

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