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一种芯片晶圆生产用清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于四川
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一种芯片晶圆生产用清洗装置.pdf

    本实用新型公开了一种芯片晶圆生产用清洗装置，包括装置主体，所述装置主体的侧端外表面设置有空气泵，所述空气泵的侧端设置有水泵，所述水泵的侧端外表面设置有清洗液箱，所述装置主体的上端外表面设置有盖板，所述装置主体与盖板的连接处设置有合页，所述盖板的前端外表面设置有手柄。本实用新型所述的一种芯片晶圆生产用清洗装置，通过固定杆与伸缩杆以及夹具的配合，可根据芯片尺寸的大小进行调节伸缩杆的上端，通过交叉的固定杆与夹具的配合可使芯片稳定的固定在金属网板上，且减小装置主体的局限性，通过密封板与二号凹槽以及离子风

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213701023 U (45)授权公告日 2021.07.16 (21)申请号 202022096233.X (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

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