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2023-03-24 发布于陕西
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al电感耦合等离子刻蚀代工电感耦合等离子刻蚀(ICP)代工技术是一种新兴的电技术，它可以用于制作复杂的微型集成电路(IC)。它有许多优势，包括高分辨率、微细尺寸，低总体成本，快速生产效率和较少的环境污染。 ICP代工技术由斯托克（Stoke）发明，并由美国微电子公司（US Microelectronics Company）进行了改进。它最初只用于处理单片集成电路(IC)，但现在也可用于处理多样化的产品，包括电脑存储芯片、显示器集成电路、MEMS、BiCMOS、分布式数字信号处理器等。 ICP代工技术使用原子自由度电场（AUF）作为一种刻蚀方法，它可以减少制造IC的时间并增加效率，同时提高芯片尺寸精度，从而节省制造成本。具体来说，它能够在几秒钟的时间内完成IC的制造，这比传统的刻蚀方法（如锗沉积）要快得多。另外，ICP代工技术也可以防止环境污染。因为它不涉及任何有害物质，所以它不会产生毒性和其他废物。而且，它也可以使用精细铝和钛，以防蚀、加固和减少漏电，这些都是不含氯的薄层金属。 ICP代工技术的缺点是它的昂贵。ICP制造的芯片相对来说会比传统刻蚀方法要昂贵得多。此外，它还要求附近的环境温度较低，以避免热损伤芯片。