聚合物电感耦合等离子刻蚀代加工.docxVIP

聚合物电感耦合等离子刻蚀代加工 聚合物电感耦合等离子刻蚀（PEC etching）方法是一种新型的微纳米加工工艺，它可以将超临界流体（质子和电子）通过聚合物电感耦合（PEC）的形式导入固体表面，加速由于等离子体的发生不均而引起的微纳米刻蚀，从而实现动态模式加工。 聚合物电感耦合等离子刻蚀有很多优点，比如它可以灵活地在无接触情况下控制材料表面结构，同时不生成上将料受到刻蚀的伤害，也不会产生有害的光学和化学效果。此外，它还具有独特的应用前景，可用于近红外线光学晶体衍射（NIR-OCD）、生物和医学分析，以及其他特殊表面处理应用，如激光刻字、腐蚀抗拒、光学和机械抗拒、生物和涂层免疫等。 聚合物电感耦合等离子刻蚀的研究主要集中在控制刻蚀效率和局部性定量刻蚀以及刻蚀动态模式。考虑到多物理场作用下刻蚀动态过程，需要综合考虑非线性等离子体物理特性；为改善刻蚀效率，常采用复杂的介质，以优化介质参数，改善介质和固体表面之间的相互作用；为提升局部性，常采用多种参数来控制集成刻蚀加工，如电场强度、电流密度和温度分布。 当前，聚合物电感耦合等离子刻蚀技术已得到快速发展，无接触加工的研究领域也正在不断拓宽。该技术在针对微纳米加工的应用中发挥着重要的作用，与此相关的工艺也展开广泛的研究，比如微孔加工、涂层和表面结构导向刻蚀、等离子夹持和表面改性等。伴随着新材料和新技术的涌现，以聚合物电感耦合等离子刻蚀方式加工的研究也将朝着更加精细化和精准化的方向发展，未来的研究将为迈向更高速、更精准的微纳米加工技术奠定基础。