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多孔化学机械抛用光垫.pdfVIP

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  • 2023-03-20 发布于四川
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多孔化学机械抛用光垫.pdf

    本实用新型属于半导体生产加工技术领域，尤其为多孔化学机械抛用光垫，包括固定圈，所述固定圈的外壁开设有第一固定孔和第二固定孔，所述第一固定孔的内部设置有第一固定销，所述第二固定孔的内部设置有第二固定销，所述固定圈的下端设置有底座。本实用新型通过设置固定圈、底座、活动圈、凸起、凹槽、底座、压板、连接杆、腔体、储液腔、活塞和出液孔，改进后的抛光垫设计成可拆装结构，拆卸后的抛光垫经过维护可继续使用，避免资源的浪费，可过程产生的颗粒物进行自动排出效果，避免颗粒物对生产材料加工造成影响，提高了抛光垫的加工使

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218639346 U (45)授权公告日 2023.03.17 (21)申请号 202222964213.9 (22)申请日 2022.11.08 (73)专利权人 南京亨瑞光电科技有限公司 地址

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