一种带小版测量夹具的测量机.pdfVIP

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2023-03-21 发布于北京
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一种带小版测量夹具的测量机.pdf

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本实用新型公开了一种带小版测量夹具的测量机，主要包括支架以及承载板和承载结构，主要通过承载板设置的宽度能够调节的滑道来适应不同尺寸的承载结构的安装需求，进而满足不同尺寸的光罩的测量需求，最终达到提高检测效率的目的；显然，在这种能够调节的组合式结构下，技术人员能够通过较少的检测设备(即测量机)进行大批量、不同尺寸的光罩的检测，故而还有降低测量成本的优势。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213778905 U (45)授权公告日 2021.07.23 (21)申请号 202022591477.5 (22)申请日 2020.11.10 (73)专利权人深圳市路维光电股份有限公司