甩干机清洗装置.pdfVIP

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2023-03-21 发布于北京
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本实用新型属于半导体晶片加工技术领域，涉及甩干机清洗装置。该装置包括甩干机机体，甩干机机体内部设置有向上开口的甩干腔，甩干腔的内部设置有转筒，甩干腔底部设有与外界连通的排污口，所述甩干机机体顶部设置有顶梁，甩干机机体底部设置有电机，电机的输出端连接有驱动轴，驱动轴从下至上贯通甩干腔，驱动轴顶部与顶梁中心转动连接；驱动轴与转筒的底部相固接；甩干腔内设置有水管，水管沿驱动轴侧壁由上至下延伸入转筒中，水管另一端连接有水箱，水管与水箱之间设置电磁阀。该清洗装置，借助顶梁，将驱动轴的上下两端用轴承座支撑，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213781996 U (45)授权公告日 2021.07.23 (21)申请号 202023093457.1 (22)申请日 2020.12.21 (73)专利权人青岛鑫嘉星电子科技股份有限公