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本实用新型提供用于从包含在坩埚(8)中的熔体(7)提拉半导体材料的单晶(1)的设备，该设备具有用于旋转提拉轴(14)的装置(20)且具有用于旋转坩埚轴(13)的装置(21)，其特征在于，在驱动器(22)和提拉轴(14)之间的成双蜗轮蜗杆传动装置以及在另一驱动器(31)和坩埚轴(13)之间的另一成双蜗轮蜗杆传动装置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213772273 U
(45)授权公告日 2021.07.23
(21)申请号 202022221520.9
(22)申请日 2020.09.30
(30)优先权数据
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