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本实用新型属于机械装置技术领域,具体涉及一种气体混合室。本实用新型包括腔体、标准混合气体输出口、组分标准气进气口、平衡气进气口;标准混合气体输出口,组分标准气进气口,平衡气进气口分别与腔体连通。本实用新型能够将经防爆型气体质量流量控制器精确控制的组分气体和平衡气体在输出之前达到充分并且均匀的混合。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213779676 U
(45)授权公告日 2021.07.23
(21)申请号 202022153494.0
(22)申请日 2020.09.27
(73)专利权人 北京航空工程技术研究中心
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