GB/T 26571-2011特种气体储存期规范.pdf

ICS7104010 G08 a园 中华人民共和国国家标准 26571—2011 GB／T 特种气体储存期规范 for shelflifeof the aspecialtygas Specification 2011—06-16发布 宰瞀鹛紫瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会“”。 GB/T 26571-2011 前 言 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 提出， 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)归口。 本标准起草单位ε 西南化工研究设计院. 本标准主要起草人=周鹏云。 标准分享网 免费下载 GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范 1 范围 本标准规定了各种特种气体至少应达到的储存期。 本标准适用于采用适当窑器充装，经分析后储存备用的特种气体，也适用于由特种气体生产厂和供 应商提供的气体.在本标准中，储存期是从质量的角度来考虑的.本标准不涉及与延t主储存有关的安 全问题. 2 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准. 2. 1 剩余量 r田idoaJ level 国在容器中的以质量或压力计的剩金产品量.该量应思量少，以最大限度降低上次充填气体中高 吉量杂质对制作工艺的影响。 2.2 储存期 shelf life 从分析完成的时间起，供应商保证气体质量的期限。在这个期限内，应保证准确分析过的杂质含量 保持或低于某一特定等级气体规定的技术指标上限。 2.3 渣干 liquid d叮 液化气体中所有的液相用完， 3 要求 3.1 影响特种气体储存期的因章 3. 1. 1 气体的热稳定性。 3. 1. 2 睿器和阀门的质量 g 材料选择 气密性， 3. 1. 3 气体与不同物质的共存稳定性 g 气体和杂质 气体和包装材料。 3. 1. 4 克装和分析操作。 3. 1. 5 运输和储存条件. 3. 1. 6 容器中产品的量。 3. 1. 7 阀门的气密性是决定气体储存期的关键因素，特别是对于低压气体.为有效提高气体与不同物 质的共存稳定性，首先应将气体由化到一定程度，使所青杂质不再随时