一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机.pdfVIP

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2023-03-21 发布于北京
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一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机.pdf

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本实用新型涉及激光清洗设备技术领域，且公开了一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，包括承载板，所述承载板底部的左右两侧均与一组支撑板的顶部固定连接，位于所述承载板右侧的支撑板的右侧与伺服电机的左侧固定连接，所述伺服电机的输出端穿过支撑板并与螺纹杆的右端固定连接。该多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，通过设置主转板、滑动柱、推动转板和连动杆相配合，使得驱动电机带动连接板和升降板进行往复升降，使得两组升降板上的激光清洗头对炉盘外壁的不同高度进行清洗，提高了装置的清洗效果，通过设置气泵与真空吸盘相配合，使得真空

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213763240 U (45)授权公告日 2021.07.23 (21)申请号 202022698050.5 (22)申请日 2020.11.19 (73)专利权人深圳市超快激光科技有限公司