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本实用新型提供一种用于压力传感器的基板结构及压力传感器,该用于压力传感器的基板结构包括基板,所述基板贯设有压力孔,所述压力孔包括沿第一方向布置的直孔和锥孔,所述锥孔自所述直孔的孔缘延伸形成,且所述锥孔的孔径沿第一方向呈渐宽设置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213771338 U
(45)授权公告日 2021.07.23
(21)申请号 202022587038.7
(22)申请日 2020.11.10
(73)专利权人 武汉飞恩微电子有限公司
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