英福康氦检仪技术手册.docx

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UL1000Fab 技术手册 第 1 页 共 109 页 技 术 手 册 2023 年 3 月 11 日 2.0 版 氦 检 漏 仪 1 UL1000Fab UL1000Fab 技术手册 第 2 页 共 109 页 2 2 名目 一般信息 本手册使用符号 安全符号 指示符 真空符号 术语定义 INFICON 效劳的支持 修理中心 前言 用途 技术参数 物理参数 电气参数 其它参数 环境条件 开箱 设备供货范围 附件与选件 吸入器管线SL200 工具箱 氦气瓶支架 ESD 垫层 手持单元 安装 运输 就位 电连接 供电电源 数据采集系统的连接 附件 数字输出 数字输入 记录仪 2.3.2.

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