一种散气结构及真空设备.pdfVIP

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2023-03-21 发布于北京
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一种散气结构及真空设备.pdf

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本实用新型提供一种散气结构及真空设备，包括至少一个散气件和输气组件，散气件固定在真空室的腔体内，与真空室的内壁之间围成横截面为多边形的储气腔，散气件上开设多个散气孔，输气组件连通储气腔，适于向储气腔内充入气体。横截面为多边形的储气腔结构，其侧边均为平直边，即散气件至少朝向储气腔的壁面为平直面，在平直面上加工散气孔更便捷，且容易对散气孔进行清理，避免散气结构由于清理不干净影响真空室的洁净度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213777278 U (45)授权公告日 2021.07.23 (21)申请号 202022697665.6 (22)申请日 2020.11.19 (73)专利权人宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙