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- 2023-03-22 发布于四川
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本实用新型涉及一种测量装置,包括:治具,用于夹持工件;测量组件,所述测量组件包括若干第一测量元件,所述第一测量元件用于测量所述工件上的测量点到基准面的距离;及运动组件,包括X运动模组和Y运动模组,所述Y运动模组滑动设于所述X运动模组上,所述第一测量元件滑动设于所述Y运动模组上,所述X运动模组和所述Y运动模组用于驱动所述第一测量元件对所述工件表面的多个测量点依次进行测量,以计算得出所述工件表面的平整度。上述测量装置能够实现对工件表面平整度的自动化测量,多个第一测量元件能够对不同位置处的测量点进行同
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213812232 U
(45)授权公告日 2021.07.27
(21)申请号 202022754900.9
(22)申请日 2020.11.24
(73)专利权人 大族激光科技产业集团股份有限
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