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一种玻璃基板清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-22 发布于四川
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一种玻璃基板清洗装置.pdf

    本实用新型实施例公开了一种玻璃基板清洗装置。该玻璃基板清洗装置，包括N级清洗室，N级清洗室包括第一级清洗室、第i级清洗室和第N级清洗室；其中，N≥2且N为整数，1≤i＜N且i为整数；清洗室包括清洗循环排管，清洗循环排管包括输入端和输出端，第i级清洗室中的清洗循环排管的输出端与第i+1级清洗室中的清洗循环排管的输入端连通；当玻璃基板清洗装置自清洁时，第N级清洗室中的清洗循环排管的输出端与第一级清洗室中的清洗循环排管的输入端连通。本实用新型实施例提供的技术方案实现了玻璃基板清洗装置的全面自清洁。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213793363 U (45)授权公告日 2021.07.27 (21)申请号 202022796888.8 (22)申请日 2020.11.27 (73)专利权人 乐金显示光电科技（中国）有限公

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