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- 2023-03-22 发布于四川
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本实用新型公开了三氟化硼液化装置,包括基座,所述基座的顶部从左到右依次安装有过滤室、冷却室、储存罐和控制箱,所述过滤室的内壁下方均匀安装有滤网,所述过滤室的一侧内壁上方安装有压力传感器,所述过滤室的顶部安装有第一进气管,所述过滤室的一侧外壁下方安装有第三排气管,所述第三排气管的另一端通过管类三通接头分别连接有取样管和第二连接管,所述第二连接管的另一端安装在冷却室的一侧外壁上方,所述冷却室的一侧外壁下方安装有第三进气管。本实用新型能够有效的过滤掉三氟化硼气体中含有的杂质,并能实时检测设备内的压强,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213811331 U
(45)授权公告日 2021.07.27
(21)申请号 202022751127.0
(22)申请日 2020.11.25
(73)专利权人 大连保税区科利德化工科技开发
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