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靶材加热装置.pdfVIP

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  • 2023-03-22 发布于四川
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靶材加热装置.pdf

    本实用新型公开了一种靶材加热装置，包括升温机构及与所述升温机构连接并用于导热的导热管组，所述导热管组包括与所述升温机构的输出端连接的第一导管及一端开口且至少部分套设于所述第一导管外的第二导管，所述第二导管的开口端与所述升温机构的输入端连接，所述第一导管的管壁形成第一升温空间，所述第二导管的管壁与所述第一导管的管壁间隔设置并共同形成第二升温空间；工作时，将靶材套设于所述第二导管的外壁，利用所述第一导管及所述第二导管传递的热量对靶材进行加热。与相关技术相比，本实用新型提供的靶材加热装置，结构简单并能

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213803965 U (45)授权公告日 2021.07.27 (21)申请号 202022759642.3 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人 株洲火炬安泰新材料有限公司

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