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本实用新型公开了一种集成电路质子直写系统，包括总控系统、激光控制系统、X、Y偏转控制系统，总控系统将设计的图形和结构数据转换成控制数据，同时将数据传递给激光控制系统和X、Y偏转控制系统，分别控制质子束的产生、筛选和质子束X、Y向运动轨迹，将质子束按设计路径打到抗蚀材料上，从而完成刻写任务；而且使用质子束刻写，由于质子具有较高的质量，MeV级能量的质子束穿透力强，空间发散度小，刻出的刻痕更深，波动性小，能够刻写得更深、更细、更精确，可以在工件单位面积上刻写更加多的信息，并且能够刻写多层信息，具有能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213876307 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202021429323.X
(22)申请日 2020.07.20
(73)专利权人 郑州中电新能源汽车有限公司
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