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承载装置.pdfVIP

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  • 2023-03-23 发布于北京
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承载装置.pdf

    本实用新型实施例提供了一种承载装置，包括：承载本体、支撑部件以及多个固定部件；其中，所述承载本体中设置有镂空结构；所述支撑部件固定在所述承载本体的表面上；利用清洗液对所述承载本体上的半导体器件进行清洗时，通过所述多个固定部件将所述半导体器件分别固定在所述支撑部件的至少一侧，且所述清洗液能够从所述镂空结构中排出。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213878059 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202022437288.2 (22)申请日 2020.10.28 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司

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