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- 2023-03-23 发布于北京
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本实用新型提供一种新型SUB基板识别系统，包括真空吸附基板、底部灯光和顶部灯光，真空吸附基板顶部设置有吸嘴板，吸嘴板的四周均小于真空吸附基板的四周，真空吸附基板在无吸嘴板投影区域的边界上通过扩散器安装有顶部灯光；底部灯光设置在真空吸附基板的下方区域，位于真空吸附基板的正下方还安装有相机；底部灯光和顶部灯光均通过灯光控制器控制。本实用新型结构简单，操作方便，不同的物料使用不用的识别系统，避免相互干扰，不仅识别精度增加而且提高工作效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213876763 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202022470232.7
(22)申请日 2020.10.30
(73)专利权人 海太半导体（无锡）有限公司
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