一种发热基片加工用多功能复平炉.pdfVIP

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2023-03-23 发布于四川
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一种发热基片加工用多功能复平炉.pdf

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本实用新型公开了一种发热基片加工用多功能复平炉，涉及基片加热技术领域，包括发热基片本体，所述发热基片本体的外表面上固定连接有导热口，所述发热基片本体的内壁上固定连接有加热机构，所述加热机构的外表面上固定连接有连接口，所述柱体的外表面上固定连接有固定座。本实用新型通过在底板的表面上开设接口配合降温壳，具备可以添加多个基片的特点，达到可以进行多个基片进行加热的效果，避免了单个基片加热导致热量不足的情况，减少单个加热基片进行加热，往往可能会导致在加热的时候，所提供的热量不足，引发被加热的材料、空间环境

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213841087 U (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202022827011.0 (22)申请日 2020.11.30 (73)专利权人郑州嵩鑫电子科技有限公司