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Helicon Plasma
1
1. 何谓 Helicon
[Helicon 原意]
指大型螺旋形状大号,需要扛在肩上吹。
[Helicon 在等离子体中意义]
是一种波的名称 ,电场矢量在空间绕传播方向螺旋旋转。
在? ? k 平面上:
Helicon 波处于哨声波的低频段,与 ECR 等离子体中的电子回旋波同属一支。
频率范围: ?ci ?? ? ?? ?ce
中文音译名:赫利孔波
R
R
ω
r
ω
ce
L
电子回旋波
Helicon wave
ω
LH
ω
ci
离子回旋波
阿尔文
k
2.
2. Helicon 等离子体源结构:
[问题] helicon plasma 由电子回旋共振产生?
Helicon 产生:(1)振荡电磁场
激励电源频率:几 MHz-----几十 MHz
(2)直流磁场
磁场:几十高斯---几百高斯典型天线类型
环形天线
半匝天线
名古屋 III 型
(d)半螺旋形
(e)双马鞍形(Bosewll)
3. Helicon
3. Helicon plasma 的重要特性
三个放电模式 E—H—W
N —P
e rf
半螺旋形天线
半匝天线
不同放电模式的 N 径向分布
e
C modeH mode
C mode
H mode
W mode
(Helicon
)
径向密度分布峰化
缺点:
不同模式的波状态
不同模式的波状态
磁场强度对密度的影响
物理原因:----等离子体产生机制 电子加热机制
朗道加热。
放电的轴向分布
电磁场
电磁场
[比较] ICP 和Helicon 的轴向分布
n↑----- kk// ↑ ---- // ↓
Helicon 源轴向尺寸对波模、密度的影响
Cavity mode
[解释] Helicon plasma 中所能激发的波长与密度和磁场有关,波实际上能否存在和边界条件有关。
Helicon 密度记录:8.0X1013 ( 美国,F.F.Chen)
[Helicon plasma 中性气体耗尽]
Helicon plasma 高密度原因:
P
abs
? P
loss
? ?
loss
E ? n E
T me iE 与 鞘层电压降有关。鞘层电压降↓,E↓
T m
e i
磁场约束 ----降低损失流强? loss 。
鞘层电压小,单个逃逸粒子的损失能量 E
小。
[]
大面积 Helicon plasma 源设计方法。大面积的单源设计困难
磁场:大半径 大电磁线圈
[永久磁钢?]
密度峰化:单源难以均匀
均匀化方法:
利用扩散
单源阵列
Helicon 的应用
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