Helicon Plasma07分析和总结分析和总结.docx

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Helicon Plasma 1 1. 何谓 Helicon [Helicon 原意] 指大型螺旋形状大号,需要扛在肩上吹。 [Helicon 在等离子体中意义] 是一种波的名称 ,电场矢量在空间绕传播方向螺旋旋转。 在? ? k 平面上: Helicon 波处于哨声波的低频段,与 ECR 等离子体中的电子回旋波同属一支。 频率范围: ?ci ?? ? ?? ?ce 中文音译名:赫利孔波 R R ω r ω ce L 电子回旋波 Helicon wave ω LH ω ci 离子回旋波 阿尔文 k 2. 2. Helicon 等离子体源结构: [问题] helicon plasma 由电子回旋共振产生? Helicon 产生:(1)振荡电磁场 激励电源频率:几 MHz-----几十 MHz (2)直流磁场 磁场:几十高斯---几百高斯典型天线类型 环形天线 半匝天线 名古屋 III 型 (d)半螺旋形 (e)双马鞍形(Bosewll) 3. Helicon 3. Helicon plasma 的重要特性 三个放电模式 E—H—W N —P e rf 半螺旋形天线 半匝天线 不同放电模式的 N 径向分布 e C modeH mode C mode H mode W mode (Helicon ) 径向密度分布峰化 缺点: 不同模式的波状态 不同模式的波状态 磁场强度对密度的影响 物理原因:----等离子体产生机制 电子加热机制 朗道加热。 放电的轴向分布 电磁场 电磁场 [比较] ICP 和Helicon 的轴向分布 n↑----- kk// ↑ ---- // ↓ Helicon 源轴向尺寸对波模、密度的影响 Cavity mode [解释] Helicon plasma 中所能激发的波长与密度和磁场有关,波实际上能否存在和边界条件有关。 Helicon 密度记录:8.0X1013 ( 美国,F.F.Chen) [Helicon plasma 中性气体耗尽] Helicon plasma 高密度原因: P abs ? P loss ? ? loss E ? n E T me iE 与 鞘层电压降有关。鞘层电压降↓,E↓ T m e i 磁场约束 ----降低损失流强? loss 。 鞘层电压小,单个逃逸粒子的损失能量 E 小。 [] 大面积 Helicon plasma 源设计方法。大面积的单源设计困难 磁场:大半径 大电磁线圈 [永久磁钢?] 密度峰化:单源难以均匀 均匀化方法: 利用扩散 单源阵列 Helicon 的应用

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