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镀膜装置.pdfVIP

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  • 2023-03-24 发布于四川
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镀膜装置.pdf

    本申请一方面涉及一种镀膜装置(10)，其包括：腔室(12)；镀膜原料入口(14)，位于腔室(12)、可连通腔室(12)内外；等离子体激发部(16)，设于腔室(12)；以及载送部(18)，位于腔室(12)内、包括辊(28)，辊(28)可被首尾相接的基材(20)卷绕、并可驱使基材(20)相对于等离子体激发部(16)运动，辊(28)驱使基材(20)运动时，基材(20)的彼此相反的第一表面(22)和第二表面(24)均可直接面对等离子体激发部(16)产生的等离子体区(26)。如此，可有利于基材(20)在镀

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218666283 U (45)授权公告日 2023.03.21 (21)申请号 202223084490.7 (22)申请日 2022.11.21 (73)专利权人 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公

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