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2023-03-25 发布于北京
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本实用新型涉及半导体加工的技术领域，特别是涉及全自动补胶机，其提高补胶工作效率，增加涂胶均匀度，增加对环境的保护，减少资源的浪费；还包括机架、花篮移栽机构、晶圆上料架、顶升机构、气缸、氧化铝吸盘、三爪自动定心机构、XZ伺服模组、回吸阀和柱塞泵，花篮移栽机构底端滑动安装在机架顶端，晶圆上料架底端安装在机架顶端，顶升机构顶端安装在机架操作台底端，气缸底端安装在机架顶端，并且气缸与晶圆上料架轴向配合安装，氧化铝吸盘右端固定在气缸左侧输出端，三爪自动定心机构固定安装在气缸左侧输出端，XZ伺服模组安装在机

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213855439 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202022698896.9 G03F 7/16 (2006.01) (22)申请日 20