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微镜结构、微镜阵列和探测器.pdfVIP

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  • 2023-03-26 发布于北京
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微镜结构、微镜阵列和探测器.pdf

    本实用新型公开了一种微镜结构，包括：光反射膜，悬设于衬底上；多段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的外侧上；多个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应侧向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213903952 U (45)授权公告日 2021.08.06 (21)申请号 202022592475.8 (22)申请日 2020.11.11 (73)专利权人 中国科学院上海技术物理研究所

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