一种无尘室半导体设备安装装置.pdfVIP

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2023-03-26 发布于北京
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一种无尘室半导体设备安装装置.pdf

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本实用新型公开了一种无尘室半导体设备安装装置，包括装置本体和工作平台，所述装置本体的顶部中间设有气缸，所述气缸的底部经过气压杆连接有吸附装置，所述吸附装置的底部分布有吸附孔，所述吸附装置的底部设有半导体芯板，所述吸附装置的顶部经过气管连接有微型气泵，所述微型气泵设于装置本体的顶部，所述吸附装置的右部设有风枪，所述工作平台的内部中间设有加热装置，所述工作平台的顶部中间设有基板，所述基板的两侧设有夹板，所述夹板的外侧端经过丝杆连接有电动推杆装置。该无尘室半导体设备安装装置，涉及半导体技术领域，控制升

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213878043 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202120125099.3 (22)申请日 2021.01.18 (73)专利权人动凯半导体设备安装（上海）有限