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真空腔体氦检装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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真空腔体氦检装置.pdf

    本实用新型提供了一种真空腔体氦检装置，包含：前级管路，所述前级管路的第一端连通真空腔体；检测支路，所述检测支路的第一端连通所述前级管路，所述检测支路的第二端具有连通氦气检漏仪的接口，所述检测支路的第一端和其第二端之间设有开关阀。与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果在于：在安装和拆卸氦气检漏仪的前先关闭开关阀，氦气检漏仪安装完毕后，再打开开关阀，氦气检漏仪能够与真空腔体连通，据此，在此过程中，真空腔体不存在回大气操作，没有暴露在大气环境中，不会带来空气中的水、氧或颗粒等污染物，减少腔体的恢复时

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213956687 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023245659.3 (22)申请日 2020.12.29 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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