一种位置信息采集系统及曝光系统.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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一种位置信息采集系统及曝光系统，所述位置信息采集系统包括读数头和位置检测板、电光转换模块、光电转换模块和光纤，所述读数头连接电光转换模块，所述位置检测板连接光电转换模块，所述电光转换模块和所述光电转换模块通过光纤连接。所述曝光系统包括移动平台系统、投图控制系统，通过上述位置信息采集系统连接所述移动平台系统和投图控制系统。本实用新型利用光纤传输位置信息，有效减少了电磁干扰对位置检测板的影响，进而获得稳定可靠的位置信号。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213956258 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202021595399.X (22)申请日 2020.08.04 (73)专利权人苏州源卓光电科技有限公司