一种流量可准确控制的氮化炉.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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一种流量可准确控制的氮化炉.pdf

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本实用新型涉及一种流量可准确控制的氮化炉，其中包括手动切断阀、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀、设置在手动切断阀之后、远传式氮气流量计设置在气动调节阀之后、PID调节系统、将气动调节阀和远传流量计连接起来、三通管件、设置在远传流量计之后、最后与氮化炉相连、所有的手动切断阀、气动调节阀、远传流量计、三通管件、炉体通过塑料软管相连接。本实用新型结构简单、流量精度高、保证了氮化硅的氮气通入量始终处于设定值内。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213951325 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202022557153.X (22)申请日 2020.11.09 (73)专利权人高邑县富当特种耐火材料有限公