一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构.pdf

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本实用新型公开了一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构，其技术方案要点是包括气流空间，气流空间位于外壳顶部，气流空间内设置有分隔部和导流部，通过分隔板将气流空间分成第一空间和第二空间，机器手臂区域位于第一空间下方，工艺槽体区域位于第二空间下方，工艺槽体区域内进行化学反应之后，酸气向上挥发至第二空间，通过分隔板使得酸气难以进入第一空间，使得机器手臂区域的器械不受腐蚀，将第一导流板设置于第一空间内，将第二导流板设置于第二空间内，且第一导流板和第二导流板均倾斜设置，FFU系统中的气流从上往下流经第二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213936137 U (45)授权公告日 2021.08.10 (21)申请号 202120176836.2 (22)申请日 2021.01.21 (73)专利权人上海至纯洁净系统科技股份有限