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预热激光光源冷却系统.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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预热激光光源冷却系统.pdf

    本实用新型提供了一种预热激光光源冷却系统，包括：用于冷却的管路，包括第一管路和第二管路和第三管路；第一调节阀，设置在所述第一管路上；用于控制所述第一管路中冷却介质的流通和停止流通；第二调节阀，设置在所述第二管路上；用于控制所述第二管路中冷却介质的流通和停止流通；所述第一管路和第二管路之间连接有第三调节阀；所述第三管路上设置在第一管路和第二管路之间，所述第三管路上设置有需要被冷却的预热激光光源。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958922 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023245543.X (22)申请日 2020.12.29 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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