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- 2023-03-27 发布于四川
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本实用新型公开了一种便于清洗的硅片花篮,涉及清洗架技术领域。本实用新型包括两个端板和连接于两个端板之间的齿杆,两个端板之间且位于端板两侧对称设置有四个齿杆;两个端板之间且位于端板底部设有两个齿杆;两个端板一侧均设有两个挂耳;两个端板表面均开有便于清洗液流通的缺槽;齿杆包括横杆;横杆表面线性阵列隔齿。本实用新型通过开有通槽和凹槽放入隔齿,可增大流通硅片花篮内的水流和气流,设置的橡胶横条能够对硅片周侧面进行垫护,并减少了硅片周侧面与硅片花篮的接触面积,有利于硅片清洗的更全面,防止了硅片与硅片花篮之间
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213958930 U
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202023132155.0
(22)申请日 2020.12.23
(73)专利权人 常州科讯精密机械有限公司
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