一种晶圆生产用上下料装置.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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一种晶圆生产用上下料装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆生产用上下料装置，涉及晶圆生产技术领域。本实用新型包括伺服电机、传动装置、传送装置、固定槽和机械手，固定槽内部安装有传送装置，传送装置穿过固定槽与传动装置转动连接，传动装置一旁转动连接有三台伺服电机，固定槽一侧尾端固定有机械手。本实用新型通过设置机械手和伺服电机，解决了现有的晶圆生产用上下料装置在上料的过程中用到的机械手不够灵活，给上料过程带来了很多不便；功率较小，从而使传送的时候效率不高，影响工作流程进度的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213936148 U (45)授权公告日 2021.08.10 (21)申请号 202022938454.7 (22)申请日 2020.12.11 (73)专利权人江苏宿芯电子科技有限公司