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一种样品台及扫描电子显微镜.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种样品台及扫描电子显微镜.pdf

    本实用新型涉及电子扫描显微装置技术领域，提供了一种样品台及扫描电子显微镜，该样品台包括：基台体，具有面向检测部件设置的第一端面；所述第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面；所述水平台面沿水平方向设置，所述第一垂直断面台面沿竖直方向设置，所述第一斜台面呈倾斜设置。本实用新型提供的样品台，基台体具有面向检测部件设置的第一端面，在第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面，可以同时用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，无需选择多个类型不同的样品台并先后进样，减少了扫描

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958903 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023229180.0 (22)申请日 2020.12.28 (73)专利权人 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙

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