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一种防撞扫描电镜ebsd探头组件.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种防撞扫描电镜ebsd探头组件.pdf

    本实用新型公开了一种防撞扫描电镜ebsd探头组件，包括底座，底座的上方设置有样品台，样品台上方设置有光束发射器，底座上设置有伸缩电镜ebsd探头座，伸缩电镜ebsd探头座的末端设置有探头，伸缩电镜ebsd探头座的下方设置有支架，支架的下方设置有滑块，滑块滑动连接在底座的滑道上，滑块上设置有弹簧开关，滑道上设置有调节块，弹簧开关电性连接控制器，控制器电性连接伸缩电镜ebsd探头座。该种结构可合理限定探头的位置，使探头能够在接触到样品台或者样品之前停止运动，避免了探头接触到样品而导致探头损伤。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213957201 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023002538.6 (22)申请日 2020.12.15 (73)专利权人 辽宁鼎创材料科技有限公司

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