具有迷宫式密封结构的旋转装置.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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具有迷宫式密封结构的旋转装置.pdf

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本实用新型公开了一种具有迷宫式密封结构的旋转装置，包括：具有反应腔的反应器、旋转轴、旋转盘、支撑筒、石墨托盘和加热组件，加热组件包括加热器、电极板和电极；密封板，设置在电极板的下端；其中，密封板与旋转盘之间形成第一迷宫密封结构，旋转盘与反应器的底壁之间形成第二迷宫密封结构。本实用新型通过在电极板的下端设置密封板，密封板与旋转盘之间形成第一迷宫密封结构，旋转盘与反应器的底壁之间形成第二迷宫密封结构，从而可以避免沉积物从密封板与旋转盘之间的间隙以及从旋转盘与反应器的底壁之间的间隙进入旋转机构内部而造

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213925010 U (45)授权公告日 2021.08.10 (21)申请号 202023008627.1 (22)申请日 2020.12.14 (73)专利权人芯三代半导体科技（苏州）有限公