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一种双驱动摆臂装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种双驱动摆臂装置.pdf

    本实用新型公开一种双驱动摆臂装置，该双驱动摆臂装置包括滚轮驱动系统、摆臂驱动系统、滚轮、摆臂，所述滚轮驱动系统贯穿所述摆臂驱动系统，所述摆臂可沿摆臂驱动系统进行升降，并通过锁紧座进行锁紧固定，以便调节摆臂与抛光盘的距离，所述滚轮位于所述摆臂的上方。通过各部件的配合，实现摆臂摆动和滚轮转动，在一个装置内实现摆臂和滚轮的双驱动，节约空间，同时可以实现摆臂整体上下升降微调。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213945956 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023159367.8 (22)申请日 2020.12.24 (73)专利权人 北京特思迪半导体设备有限公司

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