1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种硅片载板.pdfVIP

  • 15
  • 0
  • 约8.12千字
  • 约 7页
  • 2023-03-27 发布于四川
  • 举报

一种硅片载板.pdf

    本实用新型涉及硅片镀膜技术领域，提供一种硅片载板，包括：本体；第一凹槽，由所述本体的一面向内凹陷形成；第二凹槽，由所述第一凹槽的槽底向内凹陷形成，所述第一凹槽与所述第二凹槽之间的区域形成台阶面，适于支撑硅片的边缘区域；凸起，设置在所述第二凹槽的槽底，适于支撑硅片的中间区域。本实用新型提供的硅片载板，在本体的一面设置有第一凹槽与第二凹槽，两者形成台阶面，适于支撑硅片的边缘区域，减少了硅片与硅片载板的直接接触面积，减少硅片与载板摩擦和污染，减少了镀膜过程中和收取片时硅片PL损伤几率和碎片几率。并且，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958935 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023229189.1 (22)申请日 2020.12.28 (73)专利权人 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >