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一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台.pdf

    本实用新型提供了一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，包括大理石平台和大理石横梁，大理石平台上安装Y轴丝杆传动组件，大理石平台两相对边设置Y轴导轨，大理石横梁的底部设有套于Y轴丝杆外部的连接板以及能够在Y轴导轨上移动的立柱，大理石横梁安装有X轴丝杆传动组件，影像测量仪还包括Z轴组件，X轴丝杆传动组件能够驱动Z轴组件在X轴方向上移动，Z轴组件包括交叉导轨、滑板、Z轴丝杆传动组件，交叉导轨连接滑板，Z轴丝杆传动组件能够驱动滑板在交叉导轨上沿Z轴上下移动，滑板上安装单筒镜头和白光聚焦位移传感器。本实用新

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213956267 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023089925.8 (22)申请日 2020.12.21 (73)专利权人 江苏才道精密仪器有限公司

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