原创力文档- 7
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- 2023-03-28 发布于北京
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本实用新型公开了一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体，所述投影物镜本体的上表面边缘处设置有第一环形夹板，所述第一环形夹板的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫，所述第一环形夹板的一侧外壁上安装有第一连接板，所述投影物镜本体的下表面边缘处设置有第二环形夹板，所述第二环形夹板的上表面边缘处设置有第二胶垫，所述第二环形夹板的一侧外壁上设置有第二连接板，所述第一连接板的外壁上设置有第二螺纹孔。本实用新型有效加强了投影物镜的稳定性，避免投影物镜因为外界因素导致偏移，便于安装拆卸，提高工作人员的便捷
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213957835 U
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202120282756.5
(22)申请日 2021.02.01
(73)专利权人 冯艳
地址 230
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