一种MEMS陀螺仪及电子产品.pdfVIP

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2023-03-28 发布于北京
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一种MEMS陀螺仪及电子产品.pdf

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本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品，MEMS陀螺仪包括基底、固定件、环形件及电极组件，通过电极组件驱动环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测环形件沿与第一方向呈45°或135°夹角的第三方向的振动位移，一方面利用圆环形陀螺仪几何结构高度对称的特征，提高陀螺仪的灵敏度，另一方面波浪形的环形件，降低变形难度，提高陀螺仪的品质因数，且环形开槽能够释放活动结构环形件，并形成环形件与电极组件之间的间隙，从而形成电容，进而提高MEMS陀螺仪的灵敏度，同时，相比于现有技术中的半球形陀螺仪，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213985134 U (45)授权公告日 2021.08.17 (21)申请号 202021346590.0 (22)申请日 2020.07.09 (73)专利权人瑞声科技（南京）有限公司